防治微粒子污染應(yīng)遵守下列三項(xiàng)基本原則：

一、不攜入

在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

1)作業(yè)員進(jìn)入無塵室前，機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理;

2)進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

3)通過風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無塵室。

4)機(jī)器及材料帶進(jìn)無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無塵室。

5)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

二、不制造

在控制最大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

1)減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài);

2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);

3)采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油;

4)機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

三、不儲(chǔ)備

若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。

在最高等級(jí)的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計(jì)算出來的數(shù)值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有精確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長(zhǎng)時(shí)間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會(huì)附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無法防止。

無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。