一般來(lái)說(shuō),電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
電子制造廠萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
電子制造廠無(wú)塵車(chē)間垂直流無(wú)塵車(chē)間滿(mǎn)布比不應(yīng)小于60%,水平單向流無(wú)塵車(chē)間不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
電子制造廠無(wú)塵車(chē)間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的大值:
補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
保證供給無(wú)塵車(chē)間內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
電子制造行業(yè)無(wú)塵車(chē)間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項(xiàng)大值:
保證電子制造廠無(wú)塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量:
根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無(wú)塵車(chē)間的送風(fēng)量:
向電子制造廠無(wú)塵車(chē)間內(nèi)供給的新鮮空氣量:
電子無(wú)塵車(chē)間參數(shù):
換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。
壓差:主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃。
溫度45-65%;高標(biāo)準(zhǔn)粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。