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以無生命微粒為控制的對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。電子工廠潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)電子行業(yè)快

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以無生命微粒為控制的對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。電子工廠潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)電子行業(yè)快速發(fā)展的需要。從潔凈廠房的規(guī)劃開始,對于電子工廠潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。同時(shí)考慮系統(tǒng)的節(jié)能運(yùn)行。


GB50472-2013潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50472-2008-電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

■ 服務(wù)領(lǐng)域:精密機(jī)械制造、汽車零部件生產(chǎn)、電訊設(shè)備制造、光學(xué)儀器儀表生產(chǎn)等。

■ 重點(diǎn)注意事項(xiàng):

1、人流

1-1、人員凈化:

1-2、潔凈室入口宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí),應(yīng)設(shè)氣閘室;

1-3、單人空氣吹淋室,應(yīng)按最大班人數(shù)30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室人員超過5人時(shí),空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門;

1-4、空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時(shí)開啟,應(yīng)采取連鎖控制措施;

1-5、空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室,宜設(shè)氣閘室。

2、物流

2-1、潔凈室內(nèi)的設(shè)備和物料出入口,應(yīng)獨(dú)立設(shè)置,并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)的物凈設(shè)施。

2-2、物料凈化用室與潔凈室之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

3、靜壓差

3-1、不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa;

3-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa;

3-3、潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

潔凈室空氣潔凈度等級(jí)表

空氣潔凈度等級(jí)(N)

大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1

10

2

--

--

--

--

2

100

24

10

4

--

--

3

1000

237

102

35

8

--

4

10000

2370

1020

352

83

--

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

--

--

--

352000

83200

29300

8

--

--

--

3520000

832000

29300

9

--

--

--

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