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潔凈室靜電控制該如何控制

作者:廣州潔凈工程公司 瀏覽量:814 來源:本站 時間:2022-09-15 10:06:19

信息摘要:

靜電防護工作區(qū)的分級A級:允許對地靜電電位不超過±100VB級:允許對地靜電電位不超過±1000V實際工程中是分靜電電位不超過100V、500V、1000V等對應元器件、組件和設備靜電敏感電壓的3級。

1、靜電控制的基本原則


(1)確定靜電控制級別


(2)盡量減少靜電荷的產(chǎn)生


(3)泄放和中和的辦法加速靜電荷消散,防止靜電積累


(4)保護產(chǎn)品不受ESD的損壞


2、確定靜電控制的級別


(1)元器件、組件和設備靜電敏感度分級


1級:易遭受0-1999V靜電電壓損壞的


2級:易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的


3級:易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的


而敏感靜電壓大于16000V的,便不必采取防靜電措施。

41.jpg

(2)靜電防護工作區(qū)的分級


A級:允許對地靜電電位不超過±100V


B級:允許對地靜電電位不超過±1000V


實際工程中是分靜電電位不超過100V、500V、1000V等對應元器件、組件和設備靜電敏感電壓的3級。


3、盡量減小靜電荷的產(chǎn)生


這是控制靜電三步曲的第一步,在這凈化工作環(huán)境中,最好的措施:


(1)盡量采用性質相似器材,減少在接觸摩擦分離過程中產(chǎn)生靜電電荷;


(2)盡量采用導靜電型或靜電耗散型材料的器材,減少接觸摩擦分離過程產(chǎn)生積累靜電荷;


(3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。


4、泄放和中和


這是控制靜電三步曲的第二步,在微電子生產(chǎn)的凈化室中最通常的措施是接地,采用導電性或耗散性材料泄放靜電荷,以及離子化消電器中和靜電荷。


(1)接地


潔凈室應設一個獨立靜電接地系統(tǒng)(包括地面接地金屬網(wǎng)支系統(tǒng)、生產(chǎn)線工作站接地支系統(tǒng)),以便室內所有設備金屬外殼、移動設備的金屬支架、防靜電器材等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地,以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經(jīng)防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔。


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